Dieser in Delta-Kinematik entwickelte Roboter, gibt es als vierachsige und eine sechsachsige Variante. Beide Roboter sind für Handhabungsgewichte bis 0,5 kg gedacht, arbeiten mit dem R-30iA Mate-Controller und verfügen über das integrierte Visionsystem iRVision.

Der vierachsige M-1iA/0,5S ist speziell für Pickaufgaben konzipiert, die im Prinzip nur senkrechte und waagrechte Bewegungen erfordern. Seine maximale Geschwindigkeit am Handgelenk wird mit 3.000 deg/s angegeben. Der sechsachsige M-1iA/0,5A ist aufgrund seiner Beweglichkeit im Handgelenk sehr gut für Montageaufgaben geeignet. Während die vierachsige Variante den herkömmlichen Vorstellungen eines Roboters in „Parallel Link“-Kinematik entspricht, ist die zweite Variante M-1iA/0,5A mit einem dreiachsigen Handgelenk ausgerüstet. Die maximale Geschwindigkeit am Handgelenk liegt hier bei 1.440 deg/s.

Das Arbeitsgebiet des M-1iA ist ein nahezu zylindrischer Arbeitsraum mit 280 mm Durchmesser. Den inneren Bereich mit 94 mm Durchmesser deckt der Delta-Roboter in voller Höhe ab. Zum Rand des Arbeitsraumes hin sind es etwa 40 mm weniger. Praktiker werden bei den neuen FANUC-Robotern vor allem die extrem hohe Beschleunigung zu schätzen wissen.
In der Praxis wird der M-1iA bereits bei FANUC zum Bestücken von Platinen eingesetzt. Der Roboter arbeitet dabei mit einer Wiederholgenauigkeit von 0,02 mm, ist also nicht nur sehr schnell, sondern auch sehr genau.